СОДЕРЖАНИЕ

Предисловие .......................... 3

Введение ............................ 9

Глава первая. Газовые законы.............. 12

1-1. Уравнение состояния идеальных газов......... 12

1-2. Газовые законы.................... 14

Задачи........................... 16

1-3. Понятия „газ" и „пар"................. 16

1-4. Испарение и конденсация................ 17

1-5. О применимости газовых законов к парам....... 18

1-6. Давление насыщенных паров в вакуумной системе, температура отдельных участков которой неодинакова ... 19

Задачи............................. 22

Глава вторая. Элементы кинетической теории газов .. 23

2-1. Тепловое движение молекул (атомов)......... 23

2-2. Давление и уравнение состояния газов с точки зрения кинетической теории ................... 24

2-3. Средние скорости теплового движения......... 26

2-4. Зависимость между средней кинетической энергией теплового движения молекул газа и его абсолютной температурой ....................... 27

2-5. Закон распределения скоростей ............. 28

2-6. Количество и объем молекул газа, ударяющихся в 1 см2 стенки за 1 сек.................... 29

Задачи............................ 30

Глава третья. Понятие о высоком вакууме и важнейшие

свойства газов в зависимости от степени вакуума 30

3-1. Средняя длина свободного пути............ 30

3-2. Значение соотношения между средней длиной свободного пути и линейными размерами сосуда, содержащего газ........................... 33

3-3. Высокий вакуум.................... 34

3-4. Путь молекул газа при тепловом движении в условиях низкого и высокого вакуума........ 35

3-5. Скорость испарения и поток пара в условиях низкого и высокого вакуума.................... 36

3-6. Взаимная диффузия газов в условиях низкого и высокого вакуума...................... 38

3-7. Теплопроводность газов в условиях низкого и высокого вакуума........................ 39

3-8. Внутреннее трение или вязкость газов в условиях низкого и высокого вакуума................ 43

Задачи........................... 46

Глава четвертая. Теоретические основы процесса

откачки........................ 46

4-1. Понятие о процессе откачки вакуумной системы .... 46

4-2. Быстрота откачки объекта и быстрота действия насоса . 47

4-3. Поток газа....................... 48

4-4. Сопротивление и пропускная способность трубопровода 49

4-5. Основное уравнение вакуумной техники........ 51

Глава пятая. Техника получения вакуума........ 52

5-1. Значение техники получения вакуума ......... 52

5-2. Современные способы получения высокого вакуума .. 54

5-3. Параметры вакуумных насосов............ 56

5-4. Механические насосы................. 60

5-5. Пароструйные насосы................. 94

5-6. Водоструйные насосы................. 138

5-7. Ионные насосы.................... 139

5-8. Ловушки ...................... 144

5-9. Поглощение и выделение газов твердыми телами ... 149

5-10. Адсорбция и абсорбция газов............ 150

5-11. Факторы, способствующие поглощению газов твердыми телами........................ 155

5-12. Взаимодействие между важнейшими газообразными веществами и материалами, применяемыми в вакуумной технике ......................... 157

5-13. Поглотители ..................... 160

5-14. Необходимость удаления газов из деталей электровакуумных приборов.................... 183

5-15. Газы, выделяемые стеклом, и методы обезгаживания стекла........................ 184

5-16. Газы, выделяемые металлами, и методы обезгаживания металлов...................... 189

Глава шестая. Техника измерения вакуума....... 195

6-1. Характеристика манометров.............. 195

6-2. U-образные манометры................ 196

6-3. Стрелочный деформационный манометр .................................... 201

6-4. Компрессионный манометр.............. 202

6-5. Тепловые манометры................. 215

6-6. Ионизационный манометр............... 230

6-7. Получение и измерение сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра .......... 237

6-8. Измерение вакуума в готовых электровакуумных приборах ......................... 240

6-9. Магнитный электроразрядный манометр ...................................... 241

6-10. Радиоактивный ионизационный манометр........ 247

6-11. Метод грубой оценки вакуума по свечению при электрическом разряде в газе............... 249

Глава седьмая. Методы обнаружения мест натекания вакуумных систем.................. 251

7-1. Количественная оценка герметичности вакуумной системы ........................... 251

7-2. Методы обнаружения мест натекания. Течеискатели .. 255

Глава восьмая. Устройство вакуумных систем..... 271

8-1. Основные требования к вакуумным системам...... 271

8-2. Основные материалы для вакуумных систем и способы

их сочленения..................... 272

8-3. Детали вакуумных систем............... 293

8-4. Вакуумные уплотнители................ 296

8-5. Основные виды вакуумных систем........... 300

Глава девятая. Элементы расчета вакуумных систем 326

9-1. Условие возможности расчета вакуумных систем ... 326

9-2. Практическое применение основного уравнения вакуумной техники для определения быстроты откачки объекта ......................... 327

9-3. Режимы течения газа по трубке............ 331

9-4. Пропускные способности трубок в зависимости от режима течения газа.................. 333

9-5. Критерии выбора формулы для вычисления пропускной способности трубки.................. 336

9-6. Пропускная способность отверстия .......... 341

9-7. Расчет сложного трубопровода............ 344

9-8. Пропускные способности коротких трубок....... 345

9-9. Примеры расчета пропускных способностей трубки при различных давлениях............ 346

9-10. Влияние размеров трубопровода на его пропускную способность......................350

9-11. Расчет длительности откачки............. 354

9-12. Расчет ограничителей наполнения........... 360

9-13. Расчет ограничителей натекания............ 362

9-14. Расчет разбавления остаточного газа промывочным газом .......................... 365

Глава десятая. Вакуумная гигиена........... З66

10-1. Предмет вакуумной гигиены и ее значение ...... 366

10-2. Основные требования вакуумной гигиены....... 367

Приложения.......................... 372

Литература........................... 389

Алфавитный указатель..................... 393

Хостинг от uCoz