СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие .......................... 3
Введение ............................ 9
Глава первая. Газовые законы.............. 12
1-1. Уравнение состояния идеальных газов......... 12
1-2. Газовые законы.................... 14
Задачи........................... 16
1-3. Понятия „газ" и „пар"................. 16
1-4. Испарение и конденсация................ 17
1-5. О применимости газовых законов к парам....... 18
1-6. Давление насыщенных паров в вакуумной системе, температура отдельных участков которой неодинакова ... 19
Задачи............................. 22
Глава вторая. Элементы кинетической теории газов .. 23
2-1. Тепловое движение молекул (атомов)......... 23
2-2. Давление и уравнение состояния газов с точки зрения кинетической теории ................... 24
2-3. Средние скорости теплового движения......... 26
2-4. Зависимость между средней кинетической энергией теплового движения молекул газа и его абсолютной температурой ....................... 27
2-5. Закон распределения скоростей ............. 28
2-6. Количество и объем молекул газа, ударяющихся в 1 см2 стенки за 1 сек.................... 29
Задачи............................ 30
Глава третья. Понятие о высоком вакууме и важнейшие
свойства газов в зависимости от степени вакуума 30
3-1. Средняя длина свободного пути............ 30
3-2. Значение соотношения между средней длиной свободного пути и линейными размерами сосуда, содержащего газ........................... 33
3-3. Высокий вакуум.................... 34
3-4. Путь молекул газа при тепловом движении в условиях низкого и высокого вакуума........ 35
3-5. Скорость испарения и поток пара в условиях низкого и высокого вакуума.................... 36
3-6. Взаимная диффузия газов в условиях низкого и высокого вакуума...................... 38
3-7. Теплопроводность газов в условиях низкого и высокого вакуума........................ 39
3-8. Внутреннее трение или вязкость газов в условиях низкого и высокого вакуума................ 43
Задачи........................... 46
Глава четвертая. Теоретические основы процесса
откачки........................ 46
4-1. Понятие о процессе откачки вакуумной системы .... 46
4-2. Быстрота откачки объекта и быстрота действия насоса . 47
4-3. Поток газа....................... 48
4-4. Сопротивление и пропускная способность трубопровода 49
4-5. Основное уравнение вакуумной техники........ 51
Глава пятая. Техника получения вакуума........ 52
5-1. Значение техники получения вакуума ......... 52
5-2. Современные способы получения высокого вакуума .. 54
5-3. Параметры вакуумных насосов............ 56
5-4. Механические насосы................. 60
5-5. Пароструйные насосы................. 94
5-6. Водоструйные насосы................. 138
5-7. Ионные насосы.................... 139
5-8. Ловушки ...................... 144
5-9. Поглощение и выделение газов твердыми телами ... 149
5-10. Адсорбция и абсорбция газов............ 150
5-11. Факторы, способствующие поглощению газов твердыми телами........................ 155
5-12. Взаимодействие между важнейшими газообразными веществами и материалами, применяемыми в вакуумной технике ......................... 157
5-13. Поглотители ..................... 160
5-14. Необходимость удаления газов из деталей электровакуумных приборов.................... 183
5-15. Газы, выделяемые стеклом, и методы обезгаживания стекла........................ 184
5-16. Газы, выделяемые металлами, и методы обезгаживания металлов...................... 189
Глава шестая. Техника измерения вакуума....... 195
6-1. Характеристика манометров.............. 195
6-2. U-образные манометры................ 196
6-3. Стрелочный деформационный манометр .................................... 201
6-4. Компрессионный манометр.............. 202
6-5. Тепловые манометры................. 215
6-6. Ионизационный манометр............... 230
6-7. Получение и измерение сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра .......... 237
6-8. Измерение вакуума в готовых электровакуумных приборах ......................... 240
6-9. Магнитный электроразрядный манометр ...................................... 241
6-10. Радиоактивный ионизационный манометр........ 247
6-11. Метод грубой оценки вакуума по свечению при электрическом разряде в газе............... 249
Глава седьмая. Методы обнаружения мест натекания вакуумных систем.................. 251
7-1. Количественная оценка герметичности вакуумной системы ........................... 251
7-2. Методы обнаружения мест натекания. Течеискатели .. 255
Глава восьмая. Устройство вакуумных систем..... 271
8-1. Основные требования к вакуумным системам...... 271
8-2. Основные материалы для вакуумных систем и способы
их сочленения..................... 272
8-3. Детали вакуумных систем............... 293
8-4. Вакуумные уплотнители................ 296
8-5. Основные виды вакуумных систем........... 300
Глава девятая. Элементы расчета вакуумных систем 326
9-1. Условие возможности расчета вакуумных систем ... 326
9-2. Практическое применение основного уравнения вакуумной техники для определения быстроты откачки объекта ......................... 327
9-3. Режимы течения газа по трубке............ 331
9-4. Пропускные способности трубок в зависимости от режима течения газа.................. 333
9-5. Критерии выбора формулы для вычисления пропускной способности трубки.................. 336
9-6. Пропускная способность отверстия .......... 341
9-7. Расчет сложного трубопровода............ 344
9-8. Пропускные способности коротких трубок....... 345
9-9. Примеры расчета пропускных способностей трубки при различных давлениях............ 346
9-10. Влияние размеров трубопровода на его пропускную способность......................350
9-11. Расчет длительности откачки............. 354
9-12. Расчет ограничителей наполнения........... 360
9-13. Расчет ограничителей натекания............ 362
9-14. Расчет разбавления остаточного газа промывочным газом .......................... 365
Глава десятая. Вакуумная гигиена........... З66
10-1. Предмет вакуумной гигиены и ее значение ...... 366
10-2. Основные требования вакуумной гигиены....... 367
Приложения.......................... 372
Литература........................... 389
Алфавитный указатель..................... 393