ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие редактора перевода ............... 5

Предисловие ...................... 7

Глава 1. ВВЕДЕНИЕ................ 9

1.1. Содержание книги............... 10

Глава 2. ЭЛЕКТРОННАЯ ОПТИКА........... 12

2.1. Зависимость диаметра электронного зонда от тока электронного зонда................ 12

2.2. Измерение параметров микроскопа......... 15

2.3. Растровая электронная микроскопия высокого разрешения 18

Глава 3. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА С ОБРАЗЦОМ 21

3.1. Введение................... 21

3.2. Рассеяние.................. 21

3.3. Область взаимодействия............. 28

3.4. Отраженные электроны.......... 44

3.5. Процессы, обусловленные неупругим рассеянием .... 57

3.6. Заключение............. 95

Глава 4. ФОРМИРОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ............... 98

4.1. Введение............. 98

4.2. Основы процесса формирования изображения в РЭМ .. 98

4.3. Стереомикроскопия............... 118

4.4. Детекторы................... 123

4.5. Роли образца и детектора в формировании контраста изображения................. 134

4.6. Качество изображения............. 152

4.7. Обработка сигнала для отображения информации, содержащейся в контрасте изображения....... 164

Глава 5. РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ: СПЕКТРОМЕТРЫ С

ДИСПЕРСИЕЙ ПО ДЛИНАМ ВОЛН И ПО ЭНЕРГИИ ..... 190

5.1. Введение .................. 190

5.2. Спектрометр с дисперсией по длинам волн (кристалл-дифракционный спектрометр)....190

5.3. Рентгеновский спектрометр с дисперсией по энергии .. 210

5.4. Сравнение характеристик спектрометров с дисперсией по длинам волн и дисперсией по энергии........ 256

 Глава 6. КАЧЕСТВЕННЫЙ РЕНТГЕНОВСКИЙ АНАЛИЗ ......269

6.1. Введение .................. 269

6.2. Качественный анализ при помощи спектрометра с дисперсией по энергии................ 272

6.3. Качественный анализ с помощью кристалл-дифракциоиного спектрометра............ 286

6.4. Получение изображения в рентгеновском излучении при сканировании ................. 296 

 

(“Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. В 2-х кн.: Кн.1” Дж. Гоулдстейн, Д. Ньюбери, П. Эчлин и др. 1984)

 

Эту книгу Вы можете скачать на: www.librus.ru/